干式真空泵是一种在半导体制造过程中用于抽取气体、维持高真空环境的关键设备。与传统湿式真空泵不同，干式真空泵不使用液体作为密封或冷却介质，而是通过机械运动实现气体抽取，具有无污染、低维护成本和高效运行的特点，因此在半导体制造等对洁净度要求极高的领域中得到广泛应用。2024年，中国半导体制造用干式真空泵行业市场规模达到约58亿元人民币，同比增长16.3%，显示出强劲的增长势头。这一增长主要得益于国内半导体产业的快速扩张以及政策支持下国产化替代进程的加速。从市场结构来看，外资品牌如爱德华兹（Edwards）、普发真空（PfeifferVacuum）和里奇蒙德（RietschleThomas）等仍占据主导地位，合计市场份额超过70%。随着国内厂商技术实力的提升，本土企业如中科仪、汉钟精机和金海特等逐步崭露头角，其产品性能已接近国际水平，并在部分细分市场实现了进口替代。中国半导体制造用干式真空泵行业呈现出以下特点：需求端持续旺盛。2024年中国新增半导体晶圆厂投资规模超过2000亿元人民币，带动了相关设备的需求增长。12英寸晶圆生产线对干式真空泵的需求尤为突出，占总需求的65%以上。技术壁垒较高。干式真空泵需要满足半导体制造过程中严格的洁净度和稳定性要求，这对企业的研发能力和生产工艺提出了极高挑战。供应链本地化趋势明显。为降低对外依赖，越来越多的国内晶圆制造商开始尝试采用国产设备，这为本土企业提供了重要机遇。展望中国半导体制造用干式真空泵行业将呈现以下几个发展趋势：市场规模将进一步扩大。预计到2028年，该市场规模有望突破120亿元人民币，年均复合增长率保持在15%-20%之间。国产化进程加快。随着国家对半导体行业的支持力度加大，以及本土企业在技术研发上的持续投入，预计到2028年，国产干式真空泵的市场份额将从目前的不足30%提升至50%左右。产品向高端化发展。随着先进制程节点（如7nm及以下）的普及，对真空泵的极限真空度、抽气速率和可靠性要求更高，推动企业不断优化产品性能。智能化升级成为新方向。结合物联网、大数据和人工智能技术，未来的干式真空泵将具备更强大的故障预测和远程运维能力，从而提高设备利用率并降低运营成本。尽管行业发展前景广阔，但也面临一些挑战。例如，核心零部件如轴承和密封件仍需依赖进口，导致成本居高不下；国际竞争加剧可能对本土企业形成压力。为此，建议相关企业加强自主创新，完善产业链布局，并积极开拓国际市场，以实现可持续发展。中国半导体制造用干式真空泵行业正处于快速发展阶段，未来几年将是实现技术突破和市场拓展的关键时期。

博研咨询发布的《2025-2031年中国干式真空泵行业市场全景分析及产业趋势研判报告》共十一章。首先介绍了干式真空泵行业市场发展环境、干式真空泵整体运行态势等，接着分析了干式真空泵行业市场运行的现状，然后介绍了干式真空泵市场竞争格局。随后，报告对干式真空泵做了重点企业经营状况分析，最后分析了干式真空泵行业发展趋势与投资预测。您若想对干式真空泵产业有个系统的了解或者想投资干式真空泵行业，本报告是您不可或缺的重要工具。

本研究报告数据主要采用国家统计数据，海关总署，问卷调查数据，商务部采集数据等数据库。其中宏观经济数据主要来自国家统计局，部分行业统计数据主要来自国家统计局及市场调研数据，企业数据主要来自于国家统计局规模企业统计数据库及证券交易所等，价格数据主要来自于各类市场监测数据库。