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半导体专用工艺废气处理设备是指在半导体制造过程中，用于收集、净化和排放由晶圆加工、光刻、刻蚀、沉积等工序产生的各类有害气体的专用设备。这些设备通过物理吸附、化学反应、燃烧分解等方式，将废气中的有毒物质转化为无害或低害物质，从而达到环保法规的要求，同时减少对生产环境的影响。2024年，中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模约为75亿元人民币，同比增长18%，增速较上年有所提升，主要得益于国内半导体产业的持续扩张以及政策对环保要求的不断加码。从市场需求结构来看，晶圆制造厂是废气处理设备的主要采购方，占比超过65%；封装测试企业，占比约25%。随着第三代半导体材料（如碳化硅和氮化镓）的广泛应用，相关领域的废气处理需求也呈现快速增长态势。中国半导体专用工艺废气处理设备行业呈现出以下几个特点：技术门槛较高，市场集中度较强。头部企业凭借先进的技术和稳定的性能占据了较大市场份额，其中本土龙头企业已逐步实现国产替代，部分产品性能甚至接近国际领先水平。随着国家“双碳”目标的推进，废气处理设备不仅需要满足基本的排放标准，还必须兼顾能耗优化和资源回收利用。例如，一些新型设备已经能够实现废气中有价值成分（如氟化物、氯化物）的回收再利用，进一步降低了企业的综合运营成本。行业发展仍面临一定挑战。一方面，高端废气处理设备的核心零部件和技术仍依赖进口，这限制了本土企业在国际市场上的竞争力；由于不同半导体工艺产生的废气成分复杂且差异较大，通用性解决方案难以完全覆盖所有场景，定制化开发成为必然趋势，但这也增加了企业的研发成本和周期。展望中国半导体专用工艺废气处理设备行业将继续保持高速增长，预计到2028年市场规模将突破150亿元人民币，年均复合增长率超过15%。这一增长动力主要来源于以下几个方面：一是国内半导体产能扩张带来的新增需求。截至2024年底，全国已有超过30个新建或扩建的12英寸晶圆厂项目，这些项目将直接拉动废气处理设备的需求。二是存量市场的升级改造需求。随着环保法规日益严格，许多早期建设的工厂需要对现有废气处理系统进行升级换代，以满足更高的排放标准。三是技术创新驱动下的新应用场景拓展。例如，针对极紫外光刻（EUV）等先进制程产生的特殊废气，行业正在加速开发针对性更强的处理方案。数字化转型也将成为行业发展的新亮点。通过引入物联网、人工智能等技术，废气处理设备可以实现远程监控、故障预警和智能运维，显著提升运行效率和维护便利性。模块化设计和标准化生产将成为降低成本、缩短交付周期的重要手段，为中小企业提供更多参与机会。中国半导体专用工艺废气处理设备行业正处于快速发展阶段，机遇与挑战并存。本土企业需持续加大研发投入，突破关键技术瓶颈，同时积极布局全球化市场，以在全球半导体产业链中占据更加重要的位置。
博研咨询发布的《2025-2031年中国废气处理行业市场现状分析及产业趋势研判报告》共九章。首先介绍了废气处理行业市场发展环境、废气处理整体运行态势等，接着分析了废气处理行业市场运行的现状，然后介绍了废气处理市场竞争格局。随后，报告对废气处理做了重点企业经营状况分析，最后分析了废气处理行业发展趋势与投资预测。您若想对废气处理产业有个系统的了解或者想投资废气处理行业，本报告是您不可或缺的重要工具。
本研究报告数据主要采用国家统计数据，海关总署，问卷调查数据，商务部采集数据等数据库。其中宏观经济数据主要来自国家统计局，部分行业统计数据主要来自国家统计局及市场调研数据，企业数据主要来自于国家统计局规模企业统计数据库及证券交易所等，价格数据主要来自于各类市场监测数据库。
第一章废气处理行业相关概述
1.1 废气处理定义及分类
1.1.1 废气处理行业的定义
1.1.2 废气处理行业的种类
1.1.3 废气处理行业的特性
1.2 废气处理产业链分析
1.2.1 废气处理行业经济特性
1.2.2 废气处理主要细分行业
1.2.3 废气处理产业链结构分析
第二章中国废气处理行业环境分析
2.1 政策环境
2.1.1 行业"十四五"规划
2.1.2 行业相关标准概述
2.1.3 行业环保政策分析
2.1.4 行业政策走势及其影响
2.2 技术环境
2.2.1 国际技术发展趋势
2.2.2 国内技术水平现状
2.2.3 行业技术动态分析
2.3 生态环境
2.3.1 整体环境质量
2.3.2 生态环境质量
2.3.3 污染物排放状况
第三章2020-2025年主要废气处理分析
3.1 二氧化硫
3.1.1 二氧化硫的危害性
3.1.2 脱硫市场发展规模
3.1.3 火电脱硫市场需求
3.1.4 非电行业脱硫市场
3.1.5 脱硫市场政策利好
3.2 氮氧化物
3.2.1 氮氧化物的危害性
3.2.2 氮氧化物污染状况
3.2.3 氮氧化物排放新标
3.2.4 脱硝市场发展背景
3.2.5 火电脱硝市场格局
3.2.6 火电脱硝发展瓶颈
3.2.7 脱硝技术发展分析
3.3 烟尘
3.3.1 烟尘的危害性分析
3.3.2 烟尘污染状况分析
3.3.3 除尘行业发展状况
3.3.4 除尘行业利润水平
3.3.5 重点领域应用分析
3.4 雾霾
3.4.1 雾霾形成的成因
3.4.2 雾霾治理发展背景
3.4.3 雾霾防治政策环境
3.4.4 雾霾防治投资重点
3.4.5 雾霾防治市场机遇
3.4.6 雾霾污染防治建议
第四章2020-2025年中国废气处理总体发展状况
4.1 中国大气污染防治行业发展概况
4.1.1 大气污染状况
4.1.2 行业政策盘点
4.1.3 行业取得成效
4.1.4 行业发展热点
4.1.5 行业商业模式
4.1.6 行业发展方向
4.2 2020-2025年国内工业废气处理情况分析
4.2.1 电力行业超低排放改造情况
4.2.2 非电领域大气污染防治情况
4.2.3 钢铁工业大气治理情况分析
4.2.4 水泥行业大气治理情况分析
4.2.5 工业锅炉烟气治理情况分析
4.3 2020-2025年国内雾霾污染形势与治理情况分析
4.3.1 PM2.5的核心要素
4.3.2 雾霾形成原因分析
4.3.3 国内雾霾污染现状
4.3.4 雾霾防治情况分析
第五章2020-2025年中国有机废气（VOCs）治理状况分析
5.1 有机废气（VOCs）相关概述
5.1.1 基本概念
5.1.2 主要危害
5.1.3 产业链分析
5.1.4 VOCs来源
5.2 VOCs监测与治理行业发展综述
5.2.1 国外发展概况
5.2.2 发展经验借鉴
5.2.3 国内行业大事记
5.3 2020-2025年VOCs监测与治理市场竞争主体分析
5.3.1 VOCs监测治理企业发展层级
5.3.2 上市且兼营VOCs业务的企业
5.3.3 中小型专营VOCs业务企业
5.3.4 外资VOCs从业企业
5.3.5 典型VOCs排放企业分析
5.4 VOCs废气处理技术介绍
5.4.1 传统VOCs处理技术
5.4.2 光催化氧化法
5.4.3 脉冲电晕法
5.4.4 生物处理技术
5.4.5 常用VOCs治理重点技术
5.4.6 VOCs治理先进技术分析
5.5 VOCs监测与治理行业发展问题分析
5.5.1 排放标准体系制定缓慢
5.5.2 治理技术差距较大
5.5.3 行业污染源监管困难
5.5.4 人才队伍严重缺乏
5.6 VOCs监测与治理行业发展对策分析
5.6.1 工业源VOCs控制标准相关建议
5.6.2 VOCs监测监管体系完善建议
5.7 VOCs治理行业发展前景展望
5.7.1 VOCs治理前景展望
5.7.2 VOCs治理潜力巨大
5.7.3 VOCs治理的潜在需求
5.8 《"十四五"VOCs污染防治工作方案》
5.8.1 要求与目标
5.8.2 治理重点
5.8.3 主要任务
5.8.4 保障措施
第六章2020-2025年废气处理技术分析
6.1 主要废气处理技术介绍
6.1.1 脱硫技术
6.1.2 脱氮技术
6.1.3 除尘技术
6.1.4 机动车污染控制技术和光化学污染研究
6.2 电力行业废气处理技术的开发模式探究
6.2.1 传统开发模式
6.2.2 技术开发模式的反思
6.2.3 3OI系列技术开发模式
6.2.4 4OI技术开发模式的有益效果
6.3 燃煤电厂烟气净化技术分析
6.3.1 烟气脱硫技术发展概述
6.3.2 燃煤厂烟气脱硫系统的特点
6.3.3 烟气脱硫剂的种类和特点
6.3.4 电站锅炉烟气脱硫工艺的经济技术性剖析
第七章2020-2025年废气处理设备行业发展分析
7.1 中国环保设备产业发展状况分析
7.1.1 基本发展概况
7.1.2 行业发展特点
7.1.3 专利申请情况
7.1.4 行业地位分析
7.1.5 行业产量规模
7.1.6 行业销售收入
7.1.7 行业利润总额
7.2 废气处理设备行业概述
7.2.1 废气处理设备定义及分类
7.2.2 废气处理设备行业经济特性
7.2.3 废气处理设备主要细分行业
7.3 2020-2025年中国大气污染治理设备行业运行分析
7.3.1 防治设备产量
7.3.2 区域分布格局
7.3.3 省份设备分布
7.4 2020-2025年中国除尘设备市场发展分析
7.4.1 设备基本概述
7.4.2 行业发展概况
7.4.3 行业销售收入
7.4.4 袋式设备发展
7.5 2020-2025年中国脱硫脱硝设备市场发展分析
7.5.1 市场发展规模
7.5.2 市场发展形势
7.5.3 发展前景展望
7.6 2020-2025年中国气体净化设备市场供需分析
7.6.1 设备市场产量规模
7.6.2 设备市场销量情况
7.6.3 市场需求量分析
7.6.4 市场规模预测
7.7 中国大气污染防治设备在不同行业的市场空间预测
7.7.1 火电行业
7.7.2 钢铁行业
7.7.3 水泥行业
第八章废气处理行业标杆企业分析
8.1 浙江菲达环保科技股份有限公司
8.1.1 企业概况
8.1.2 企业优势分析
8.1.3 产品/服务特色
8.1.4 公司经营状况
8.1.5 公司发展规划
8.2 徐州科融环境资源股份有限公司
8.2.1 企业概况
8.2.2 企业优势分析
8.2.3 产品/服务特色
8.2.4 公司经营状况
8.2.5 公司发展规划
8.3 科林环保装备股份有限公司
8.3.1 企业概况
8.3.2 企业优势分析
8.3.3 产品/服务特色
8.3.4 公司经营状况
8.3.5 公司发展规划
8.4 北京清新环境技术股份有限公司
8.4.1 企业概况
8.4.2 企业优势分析
8.4.3 产品/服务特色
8.4.4 公司经营状况
8.4.5 公司发展规划
8.5 中电环保股份有限公司
8.5.1 企业概况
8.5.2 企业优势分析
8.5.3 产品/服务特色
8.5.4 公司经营状况
8.5.5 公司发展规划
8.6 永清环保股份有限公司
8.6.1 企业概况
8.6.2 企业优势分析
8.6.3 产品/服务特色
8.6.4 公司经营状况
8.6.5 公司发展规划
8.7 福建龙净环保股份有限公司
8.7.1 企业概况
8.7.2 企业优势分析
8.7.3 产品/服务特色
8.7.4 公司经营状况
8.7.5 公司发展规划
第九章2025-2031年中国废气处理行业投资分析及前景趋势预测
9.1.1 废气处理行业投资机会分析
9.1.2 投资领域
9.1.3 主要项目
9.2 废气处理行业投资风险分析
9.2.1 市场风险
9.2.2 成本风险
9.2.3 收益风险
9.3 废气处理行业投资建议
9.3.1 把握行业政策机遇
9.3.2 关注行业投资热点
9.4 行业发展前景及趋势分析
9.4.1 行业发展前景
9.4.2 市场发展潜力
9.4.3 未来发展趋势
9.5 2025-2031年中国废气处理行业预测分析
9.5.1 2025-2031年中国废气处理行业影响因素分析
9.5.2 2025-2031年中国大气污染防治设备产量预测
图表目录
图表 1 中国废水中主要污染物排放情况统计
图表 2 中国废气中主要污染物排放情况统计
图表 3 2020-2025年中国环境污染治理投资规模变化趋势图
图表 4 2025年主要污染物减排目标完成状况分析
图表 5 主要大气治理政策和规划
图表 6 推进火电机组脱硝政策汇总
图表 7 火电厂大气污染物排放标准
图表 8 “十四五”重点区域大气污染防治各省市规划指标
图表 9 2020-2025年中国工业废气排放量统计
图表 10 各行业工业废气排放格局
图表 11 2020-2025年工业二氧化硫排放量统计
图表 12 各地区二氧化硫排放状况分析
图表 13 工业二氧化硫排放格局
图表 14 2020-2025年工业氮氧化物排放量统计
图表 15 各地区氮氧化物排放状况分析
图表 16 工业氮氧化物排放格局
图表 17 2020-2025年工业烟（粉）尘排放量统计
图表 18 各地区烟（粉）尘排放状况分析
图表 19 工业烟（粉）尘排放格局
图表 20 各种烟气脱硫工艺比较
图表 21 中国投运燃煤脱硫机组数量变化趋势图
图表 22 中国投运燃煤脱硫机组总装机容量趋势图
图表 23 2025年投运火电厂烟气脱硫机组容量状况分析
图表 24 2025年主要脱硫公司已投运的火电厂烟气脱硫机组容量状况分析
图表 25 2025年已签订火电厂烟气脱硫特许经营合同的机组容量状况分析
图表 26 各种脱硝工艺比较
图表 27 中国投运燃煤脱硝机组数量变化趋势图
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