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2019-2024年中国湿电子化学品市场监测及发展前景预测报告
图1-1 电子化学品的产业链
图2-1 硫酸制备工艺路线示意图
图2-2 过氧化氢减压精馏工艺流程示意图
图2-3 氢氟酸精馏工艺流程示意图
图2-4 超纯盐酸精馏工艺流程示意图
图2-5 超纯硝酸精馏工艺流程示意图
图2-6 超纯磷酸制备工艺路线示意图
图2-7 氢氧化铵气体吸收工艺路线
图2-8 氢氧化铵制备工艺流程图
图3-1 2011年、2020年世界湿电子化学品市场格局的情况
图4-1 2004年~2020年我国湿电子化学品生产量统计及预测
图5-1 晶圆表面污染物示意
图5-2 槽式蚀刻机晶圆蚀刻流程示意图
图5-3 2020年国内半导体芯片生产用各类湿电子化学品用量占总需求量比例
图6-1 晶体硅太阳能电池片结构示意图
图6-2 从多晶硅到太阳能电池组件的工艺过程
图6-3 太阳能电池片生产工艺过程
图6-4 太阳能电池硅片工艺过程及湿电子化学品的应用
图6-5 单晶硅绒面与多晶硅绒面对比
图6-6 单晶太阳电池片制绒加工工艺流程
图 6-7 采用碱性溶液进行单晶太阳电池片制绒加工的工艺控制要点
图6-8 多晶太阳电池片的制绒工艺流程
图6-9 多晶太阳电池片制绒的反应过程与反应机理
图6-10 2020年国内各类湿电子化学品用量占总需求量(消耗量)的比例
图7-1 TFT-LCD 剖面结构示意图
图7-2 TFT-LCD 制作工艺流程
图7-3 面板薄化过程厚度变化
表目录:
表1-1 超净高纯湿电子化学品品种及分类
表1-2 2020年国内主要湿电子化学品市场需求量比例
表1-3 2005年与2020年国内湿化学品市场需求的各种品种比例的对比
表2-1 湿电子化学品SEMI国际标准等级
表2-2 国内半导体用湿电子化学品BV系列标准的品种分等级的规格
表2-3 硫酸SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-4 过氧化氢SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-5 高纯盐酸SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-6 各种氟树脂材料的主要性能
表3-1 用于半导体制造的湿电子化学品的全球销售额统计
表3-2 境外主要湿电子化学品生产企业情况
表4-1 我国湿电子化学品主要生产企业简况及其实际产能统计(以2020年为计)
表5-1 沾污类型、来源和常用清洗功效的湿电子化学品
表5-2 半导体硅片湿法清洗中常用的湿电子化学品的品种及用途
表5-3 常用的湿法刻蚀技术及湿电子化学品应用品种
表5-4 国内12英寸半导体晶圆生产中使用各种湿化学品的单耗量
表5-5 国内8英寸半导体晶圆生产中使用湿化学品的单耗量
表5-6 2020年我国6英寸及以上的半导体晶圆生产厂家及其产能情况
表5-7 2020年我国半导体晶圆产量及各种湿电子化学品消耗量
表5-8 2020年国内半导体晶圆生产中消耗各类湿电子化学品量的统计
表6-1 太阳能电池片清洗的工艺流程
表6-2 2020年我国太阳电池片生产所消耗的各主要湿电子化学品量
表6-3 2020年国内各类湿电子化学品主要应用工艺环节及用量所占的比例
表7-1 平板显示制造过程中涉及湿化学品品种
表7-2 TMAH的物理性能与产品相关信息
表7-3 电子级四甲基氢氧化铵(显影液TMAH,25.0%)主要技术指标
表7-4 TFT-LCD制作用铝蚀刻液的主要技术指标
表7-5 工业级、电子级的NMP主要性能指标
表7-6 ITO蚀刻液主要技术指标
表7-7 我国4.5代以上的液晶面板生产线及其产能统计
表7-8 2020年及2020年我国4.5代以上液晶面板年产能统计于预测
表7-9 我国内地4.5代以上LCD面板湿电子化学品需求量统计及预测
表7-10 我国国内面板(4.5代以上)制造中湿电子化学品需求量的统计、预测
表7-11 2020年我国国内面板(4.5代以上)制造中使用的各种湿电子化学品的需求量比例情况
表8-1 2020年我国三大应用市场对湿电子化学品需求量的统计(单位:吨 )
表8-2 2013年~2020年我国湿电子化学品总市场需求规模推估
表8-3 三大应用市场的湿电子化学品需求量的比例变化及其预测
表8-4 国内湿电子化学品三大应用领域对各种湿电子化学品的纯度要求
表8-5 国内半导体晶圆所需各类湿电子化学品的主要提供厂商
表8-6 国内液晶显示面板所需各类湿电子化学品的主要提供厂商
表8-7 国内硅晶太阳电池片所需各类湿电子化学品的主要提供厂商